小型等离子清洗机

发布时间 2009-11-20 14:26:26

产品描述

1.主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。

2.特点:成本低,整机机械、电气结构简单、实用,易维护。

3.控制方式:手动或自动控制模式,利用各简单元器件的巧妙组合成自动控制体系,各参数调整好后,一键完成整个清洗工艺。

4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。

5.射频电源手动匹配(自主研发的全固态晶体管输出型)

6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。

7.清洗完成有提示音

8.反射功率过大报警

10.泵热过载报警

11.反应仓泄漏报警

12.电极采用高通量等离子结构,牢固可靠易拆卸。

13.反应仓为矩形不锈钢腔体,水平电极板放置,间距可调。

14.真空泵采用双腔式旋片泵,极限真空度可达2Pa以下,一般采用外置。

15.真空泵可选配液位低报警装置

小型等离子清洗机主要技术数据及规格:

 标准型号

技术配置

 QT-12-PSP-

 QT-24-PSP

 QT-36-PSP

外形尺寸

 W700mm×H900mm×D600mm

 W700mm×H900mm×D600mm

 W700mm×H900mm×D650mm

反应仓

 W250mm×H200mm×D300mm

 W300mm×H250mm×D320mm

 W340mm×H305mm×D350mm

真空腔体材质

 不锈钢加铝内衬

电极板有效面积

 140mm×200mm×4

 240mm×220mm×5

 280mm×260mm×6

电源功率

 0~300W

 0~300W

 0~600W

电源频率

 13.56MHz

 13.56MHz

 13.56MHz/40kHz

洁净真空度

 15Pa

 15 Pa

 1 0Pa

控制系统

 半自动控制/全自动控制,继电器加定时器控制体系

单次处理时间

 8-15分钟

气体控制

 2路精密气体流量计+针阀+高抛光不锈钢管路

流量精度

 +2sccm

工作压强

 10-90Pa

真空泵系统

 德国/国产

 德国/国产

 德国/日本/国产

参数控制

 处理时间、射频功率、气体流量可调

所需环境配置

供电环境

 AC220V/50Hz8A + 独立PE线

供气管路

 0.2至0.6MPa,管径φ6

环境**高35℃良好换气通风

湿度

 

东莞市启天自动化设备有限公司
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