单晶硅传感器真空充油机
发布时间 2023-11-04 15:23:10
产品描述
一、产品概述
1、应用于单晶硅传感器及其它同类型产品的高真空注油工艺。
2、预处理油罐具备控温加热、搅拌、照明及补油功能。
3、高真空注油腔内部配置通用产品托盘，可选配控温加热功能。
4、三路复合真空计可实时监测各区域真空压力。
5、总排气口安装油雾过滤器，可有效降低设备运行噪音并净化油气。
6、操作点之间均有压力或互锁逻辑保护，有效避免人为误操作损坏设备。
7、油杯配置液位开关，避免过量补油及注油损坏设备。
二、产品技术参数
1、注油腔压力：≤6.7×10E-4 Pa--空载
2、油杯压力：≤2.0×10-1Pa--空载
3、真空泵配置：分子泵+旋片真空泵
4、单次产品数量：30~50件
5、单次运行时长：6~8小时
6、电压：220V或380V 可任意选择
7、总功率：3.5 Kw
8、冷却方式：风冷
9、外形尺寸：宽1150*深650*高1770mm
10、总重量：约400 Kg
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